家登:新世代EUV光罩盒獲ASML認證 搶先進製程商機中央社記者張建中新竹2024年11月8日電 (2024-11-08 10:27:44)

傳載方案商家登精密(3680)今天宣布,新世代的高數值孔徑極紫外光光罩盒(High-NAEUVPOD)已通過微影技術龍頭廠艾司摩爾(ASML)認證,將會與現有EUVPOD版本搭配使用,同步為客戶先進製程採用。

家登今天發布新聞稿表示,隨著半導體製程技術不斷推進,旗下EUVPOD和RSP-200系列透明視窗的光罩傳送盒出貨量不斷增加;尤其關鍵客戶先進製程訂單暢旺,EUVPOD和RSP-200產品需求可望持續增長。

家登指出,台灣、亞洲和美國的關鍵客戶競逐2奈米製程,已投入High-NAEUV布局,有機會在明年逐步採用High-NAEUV機台投產。

家登表示,旗下High-NAEUVPOD已通過ASML認證,將會與現有EUVPOD版本搭配使用,同步為客戶先進製程所採用。家登光罩載具全系列產品均可匹配ASML不同機種的曝光機,伴隨製程技術不斷推進,可望帶動EUV相關產品銷售成長。

因應地緣政治風險,家登指出,在美國設有倉儲、專責業務、研發和技術服務團隊,並規劃於2025年在日本久留米建廠,大中華地區現有昆山廠及重慶廠兩座生產基地已穩定投產,應可符合全球關鍵客戶在地供應的需求。

家登自結10月營收新台幣3.89億元,呈月減、年減態勢,家登表示,主要是因集團進行SAP系統升級作業,全球客戶出貨暫停10天影響,11月將積極出貨,全年營運表現不受影響。
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