台日半導體技術交流 日設備廠TEL台南營運中心啟用中央社記者張建中新竹2024年12月3日電 (2024-12-03 15:53:38)

台日半導體合作邁向新里程碑,日本半導體設備龍頭廠TEL積極在台布局,台灣子公司東京威力科創總裁張天豪看好台日半導體互補效益,台南營運中心今天啟用後將持續帶動人才、技術雙向交流。

考量目前全球有90%的AI晶片是在台灣生產,大部分又在南科製造,東京威力科創的台南營運中心於2022年底動工,今天完工啟用,將可就近服務客戶。張天豪說,結合新竹研發中心、竹東訓練中心及台南營運中心,將持續在台灣投入技術、人才及供應鏈三大領域扎根。

張天豪受訪表示,台日交流近年確實更為頻繁。他7月初去熊本時,當地飯店一房難求,到市區的交通也很壅塞,東京威力科創前去支援的人力比過去增加很多。在台灣部分,東京威力科創常駐的日本人員有逾百人,另有TEL員工自日本來台與客戶交流。

張天豪表示,台灣與日本在技術、產業交流非常緊密,台灣在半導體產業的前段製造、後段封裝有明顯的優勢,搭配日本的設備、關鍵材料,可以讓亞洲地區再壯大發展,加速產業發展動能,這當中TEL可以作為橋梁。

TEL(TokyoElectronLimited)創立於1963年,至今滿61年,1996年來台投資,東京威力科創在新竹科學園區設立總部和研發中心,並在竹東打造訓練中心,在林口、新竹、豐原、台中和台南也有辦公室。

張天豪說,TEL在台灣和日本的技術、人才交流是雙向且同步的,不是日本發展完成後才轉移到台灣。他強調,「台灣不是追隨者」,竹科的研發中心發展新的技術,有2奈米和1奈米製程,同時與日本連線。

張天豪說,竹東訓練中心內設置了與全球同步甚至更先進的設備,除了TEL全球市占率近100%的極紫外光(EUV)塗布顯影機,還有晶片洗淨系統和薄膜設備等,包括員工、客戶及美國工程師都要前來訓練,一年可以訓練超過3000人次。

張天豪表示,訓練中心的設備都是現在工廠要用的最新機種,陸續還會再送來新設備,「TEL在台灣不是只來賺錢,是來這裡發展技術和人才」。

張天豪說,未來東京威力科創在台灣的擴充,不會單純以台灣營運為基礎考量,而是著眼於TEL在全球的成長,包括研發中心的無塵室空間會持續擴充,擴大研發能量,也會策略性培養更多人才,加強工程師的技術和語言能力,希望成為TEL的重要人才庫,跟著客戶一起走向全球營運。

張天豪說,TEL的半導體設備完整覆蓋薄膜、蝕刻、塗布顯影、晶片洗淨等半導體生產最重要的4大領域;每台極紫外光(EUV)機台前面一定會連結上TEL的塗布顯影機,才能夠達到完整的效果。TEL的EUV塗布顯影機在全球市占率將近100%,其他包括蝕刻、沉積和清洗設備,也多位居全球第1或第2的領先地位。

張天豪表示,根據調查,到2030年半導體產值將會翻倍至1兆美元。面對龐大市場需求,TEL計劃未來5年內將斥資1.5兆日圓(約逾新台幣3000億元)投入研發,持續推動先進封裝、邏輯運算及高頻寬記憶體製造技術。
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