台積電將氫氟酸廢液合成冰晶石 估年創4億元效益中央社記者張建中新竹30日電 (2021-11-30 14:15:28)

台積電力推循環經濟,於中科晶圓15B廠啟用首座氫氟酸廢液合成冰晶石系統,預計民國112年擴大導入先進製程晶圓廠區,估計一年將創造新台幣4億元效益。

晶圓加工與清洗製程會產生氫氟酸廢液,為友善環境並提升廢液的再利用價值,晶圓代工廠台積電107年起與協力廠商合作啟動氫氟酸廢液回收技術研究。

台積電表示,透過分析廢液濃度、再製技術、藥劑製備與銷售通路等面向,評估將氫氟酸廢液合成為高純度冰晶石最具廢棄資源高值化優勢。

台積電指出,冰晶石主要用於鋁工業做為助熔劑,可於電解煉鋁過程中節省逾25%能耗,由於全球天然冰晶石產量稀少且幾乎開採完畢,現多為人工合成品,一般製作過程需較多原料且反應溫度較高。

台積電表示,以氫氟酸廢液做為冰晶石製程原料,根據氫氟酸廢液的濃度需求,與廠商合作研發出可生成冰晶石的反應藥劑,再搭配適當的操作參數降低反應溫度,成功使氫氟酸廢液合成為高純度冰晶石,可直接於廠內生產,在地研發的反應藥劑也提升國內循環經濟產業的再生技術。

位於晶圓15B廠的首座氫氟酸廢液合成冰晶石系統,今年9月正式啟用,台積電指出,至11月已減少氫氟酸廢液委外處理量達500噸,產出冰晶石150噸,預計於112年擴大導入至先進製程晶圓廠區,目標每年減少委外處理量4.6萬噸,產出冰晶石1.2萬噸,創造逾4億元效益。
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