大銀微系統超薄型直驅馬達 獲台灣精品金質獎中央社記者鍾榮峰台北24日電 (2021-11-24 19:35:37)

傳動元件大廠上銀以晶圓移載模組(EFEM)獲台灣精品銀質獎,關係企業大銀微系統以超薄型直驅馬達獲台灣精品金質獎。

第30屆台灣精品獎今天下午舉行頒獎典禮,上銀以晶圓移載模組獲台灣精品銀質獎,關係企業大銀微系統以超薄型直驅馬達獲台灣精品金質獎。

上銀今天傍晚發布新聞稿指出,這是集團從2001年來連續22年獲得的第30及31座台灣精品金、銀質獎獎座。

上銀指出,晶圓移載模組是半導體設備關鍵零組件之一,在2018年通過SEMI S2國際安規認證,擁有Class 1潔淨度,能避免晶圓二次污染。晶圓移載模組可彈性選配Wafer ID讀取、晶舟盒無線射頻辨識(RFID)感應、晶圓尋邊校正、凸片檢知、站點在席感測等,依產品規格,搭配對應款式的晶圓機器人。

此外,大銀微系統超薄型直驅馬達,透過輕薄特性使設備重心降低,以利設備運行穩定,增加生產速度;大中空軸的馬達設計,可使設備小型化、設計簡單、安裝容易、精度提升、降低發塵污染,適用半導體製程、LED製程、電路板檢測以及各式自動光學檢測(AOI)應用。
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