台積電改良濾網結構 創減廢效益逾16億元中央社記者張建中新竹30日電 (2021-07-30 16:26:10)

晶圓代工廠台積電透過改良濾網結構,延長濾網使用壽命,至今年6月共減少濾網廢棄物3251公噸,創造超過新台幣16億元減廢效益。

台積電表示,氣態分子汙染物(AMC)為環境中沉降於晶圓表面形成單分子層薄膜的氣態化學汙染物質,由於半導體製程線寬隨著技術進步日益縮小,對於無塵室生產環境的潔淨度要求也趨於嚴格,導致濾網用量增加。

經觀察廠區使用情況,台積電發現化學濾網對酸性氣體、鹼性氣體、有機物3種物質吸附能力不同,廠務處、資材供應鏈管理處攜手供應商開發長效型化學濾網,透過調整濾網吸附有機物的濾料比例,將化學濾網的使用壽命延長1倍,並自民國107年起大量採用。

為最大化濾網使用效率,台積電108年全面改用拆解式化學濾網,將原本整合型不可分割的化學濾網,進一步根據酸性氣體、鹼性氣體、有機物不同的吸附特性進行結構分割,降低更換作業可能造成的人因傷害,並透過改良濾網吸附效能及結構,減少超過70%的濾網廢棄物。

據統計,至110年6月共減少濾網廢棄物3251公噸、碳排放量1萬2028公噸,約當31座大安森林公園一年的二氧化碳吸附量,創造超過16億元減廢效益。

台積電109年再攜手供應商優化濾網結構,以物理方式恢復初始吸附效能,使濾網可重複使用,110年3月完成驗證,預計111年陸續導入台灣廠區所有晶圓廠,未來可望每年再減少20%濾網廢棄物,總計減廢達90%。

台積電同時針對外氣空調箱使用的濾網進行結構改良,透過降低壓損提升其過濾與節能效果,預計111年導入後,每年將可節電3500萬度,持續朝節能減碳、循環再生的永續目標邁進。
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