台積電降低自來水用量 南科再生水廠3月完成主建中央社記者張建中新竹2021年2月26日電 (2021-02-26 12:59:14)

台積電(2330)南科再生水廠預計3月完成主體建築,將致力產出優於進水品質要求的再生水,成為全球首家導入工業再生水的先進晶圓廠。

為持續降低自來水用水量,台積電積極承諾並使用工業廢水與民生汙水的再生水,民國104年開始發展再生水技術,於105年打造全國第1條半導體工業再生水試產線,回收處理工業放流水。

台積電109年啟動南科再生水廠建廠工程,為台灣第1座民營再生水廠,預計110年3月完成主體建築,隨後將安裝系統、啟動試產並持續調校,致力產出優於進水品質要求的再生水。

台積電還以全物理壓濾的晶背研磨廢水再生技術,取代添加化學藥劑的混凝沉降法,處理半導體封裝製程大宗廢水晶背研磨廢水,節省化學藥劑用量,同時產製品由原本的無機性汙泥,轉化為有價的高純度工業級矽產品。

台積電指出,晶背研磨廢水資源化系統於109年7月在先進封測3廠正式啟動,至110年1月共計回收逾1.5萬公噸晶背研磨廢水,成功產製30公噸工業級矽產品。台積電預計111年擴大導入目前興建中的先進封測2廠第二期、先進封測6廠,朝資源永續的目標持續邁進。
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