首家本土靶材大廠 光洋科搶進台積電綠色供應鏈時報-台北電 (2020-06-01 08:19:25)

晶圓代工龍頭台積電(2330)在最新一期的企業社會責任電子報中指出,台積電厚植供應鏈循環經濟力,活化製程廢棄資源為再生靶材,供應商光洋科(1785)躍升國內首家供應高階半導體前段製程靶材企業。
台積電攜手供應商實現循環經濟,打造在地綠色供應鏈,與供應商光洋科合作,今年透過回收製程廢棄資源、精煉為原物料,成功再製成符合品質標準的靶材,並正式導入量產產線。此舉不僅讓光洋科成為國內第一家供應高階半導體前段製程靶材的企業,台積電每年亦成功減少1,800噸廢液,達成120顆殘靶材再生,實現「廢棄物產出最小化,資源循環使用最大化」的廢棄物管理目標。

台積電深化供應商綠色製造能力,帶動國內半導體產業循環經濟作為,秉持資源循環、永續利用的廢棄物管理原則,積極活化製程所產出的廢棄資源,轉製成可直接提供晶圓製造或販售給其他工業使用的產品。台積電去年廢棄物回收率達96%,由原先的廢棄資源產生者,蛻變成為循環經濟的執行者。
台積電發揮產業領導者推己及人的正向影響力,針對以往仰賴單一進口來源的靶材,除力行風險管理、確保營運持續不中斷,同時亦由資材暨風險管理組織、Fab 15A廠與品質暨可靠性組織組成專家團隊,偕同在地靶材製造商光洋科,推動硫酸銅廢液與殘靶材二項製程廢棄資源活化專案,開發利用再生資源為靶材原料的再製技術,分別於2018年、2020年導入台積電成熟與先進製程,提升供應鏈綠色製造能力。
台積電以貴金屬殘靶材回收熔煉並再製成新靶材循環製程使用為案例,2018年確認再生靶材規格並建立循環再生模式,2019年再生靶材樣本於Fab 15A廠測試,2020年再生靶材導入Fab 15A廠產線,並擴大驗證於Fab 14A廠及Fab 12A廠產線展開測試。
在回收再生循環模式上,台積電將殘靶材回收後,交由光洋科進行金屬精煉、製成金屬原物料、金屬熔練等過程後再製成新靶材,並將新靶材產品交貨予台積電使用。在此一貴金屬殘靶材回收再生循環模式下,台積電每年50%的貴金屬靶材是由再生原料製成。
台積電資材供應鏈管理處處長何宗杰表示,在推動半導體創新的同時,台積電亦致力提升供應鏈的永續水準。透過和光洋科的合作,成功開創了濺鍍靶材的循環經濟模式,為半導體材料的製造及使用寫下嶄新一頁。
光洋科董事長馬堅勇表示,台積電透過循環經濟實現其環保理念,早已是全台灣甚至全球半導體產業典範。光洋科以此為標竿,以學習典範、成為典範自期,感謝台積電挹注成功經驗與指導,與光洋科攜手創造雙贏的經濟模式。(新聞來源:工商時報─記者涂志豪/台北報導)
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